第50章 此时此刻,天亮了(1 / 2)
顾长明失魂落魄地盯着那台银白色的巨兽。
他始终不敢相信,那是5纳米的光刻机。
夏国的工业底子是什麽样,没人比他更清楚。
即是那行中文铭牌像耳光一样贴在他脸上。
他那构建了三十年的认知堡垒,依旧在负隅顽抗。
「顾长明,看够了吗?」
牛一文火爆的声音传来,
「看够了就让你的人动起来,别耽误正事。」
顾长明猛地回神,转过头。
「我不信,我要验机。」
顾长明指着那台机器质问道,
「连高端轴承钢都要进口,凭什麽造出EUV?凭什麽?」
「万一是个空壳子?万一里面装的是32纳米改的呢?」
「不通电,不跑片,我不信!」
牛一文刚准备继续痛骂,林辰却抬手拦住了他。
林辰淡淡一笑。
「真金不怕火炼。」
林辰语气十分随意「既然顾所长不见棺材不落泪,那就让他见见。」
「不过,顾所长,让你的人动作快点。」
随后顾长明效率惊人。
或者说,为了证明自己是对的。
为了证明夏国不可能有这种「神迹」。
他爆发出了前所未有的执行力。
备用实验室在二十分钟内被彻底清空。
赵德发一挥手。
全副武装的工程兵迅速上前,配合重型吊装设备,开始作业。
那台刻着「星辰科技」铭牌的机器,被稳稳安置在实验室中央。
实验室大门轰然关闭。
厚重的防辐射玻璃墙外,挤满了研究所的技术骨干。
每个人的脸上都写满了忐忑。
还有藏在眼底,那股不敢说出口的期盼。
无尘实验室内。
顾长明穿上了全套防尘服,只露出一双锐利得吓人的眼睛。
他站在主控台前。
「听好了。」
声音通过麦克风传遍全场。
「按照AML最严格的出厂标准测。」
「光源系统丶双工件台精度丶物镜数值孔径……每一个参数,都给我核实三遍!
「只要有一个不达标,立刻停机!」
观察室里。
赵德发突然开始紧张起来,「林辰,稳得住吗?」
「顾所长这人虽然爱炫耀,但在技术上可是出了名的轴。。」
林辰表情十分轻松:「赵局,您就当是在看一场猴戏好了。」
实验室内。
顾长明深吸一口气。
手指颤抖着按下了那个红色的启动键。
嗡——!
低沉的轰鸣声响起。
声音浑厚,带着一种直击灵魂的穿透力。
那是大功率极紫外光源被激发时特有的声浪。
如同深海巨鲸的低吟。
「供电系统正常!」
「真空腔体压力正常!」
「冷却系统介入……温度恒定22摄氏度,误差0.01度!」
技术员的声音越来越高亢。
带着明显的颤音。
唰!
机身上,数万个状态指示灯瞬间被点亮。
全绿。
没有一个红灯报警。
这种工业暴力美学带来的视觉冲击,让玻璃墙外的所有人都下意识地屏住了呼吸。
「切入自检模式,调出光学参数!」
顾长明死咬着牙关下令。
大屏幕上,数据流疯狂刷屏。
「数值孔径(NA):0.33……」
「所长,这……这是标准EUV的参数。」
顾长明死死盯着屏幕:
「别急!看光源!光源才是核心!」
「那是造假造不出来的!」
EUV光刻机,难就难在光源。
那需要用大功率雷射轰击锡滴,产生13.5纳米的极紫外光。
这个过程对能量控制的要求,相当于在狂风暴雨中。
站在过山车上用机枪打中一只蚊子的左眼。
西方最顶级的机型,也不过250瓦。
屏幕上的数据条开始疯狂向上攀升。
100W……
200W……
瞬间突破了顾长明认知的极限。
250W!
「到了!」顾长明低吼,「这就是极限了!哪怕是AML……」
话音未落。
数据猛地又向上窜了一大截。
300W!
400W!
最终定格。
【LPP光源即时输出功率:500W】
啪嗒。
顾长明手中的特制防静电记录笔掉在了地上,摔成了两截。
「五……五百瓦?」
旁边那个负责光源检测的技术员,像是见了鬼一样,
「所长,我是不是眼花了?」
「这比AML最先进的还要高一倍?」
500W意味着什麽?
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